Jülicher Labor sucht Grenzen der Siliziumtechnologie

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Auf dem Campus des Forschungszentrums Jülich wurde der Grundstein für eines der modernsten Nanoeletronik-Labore Europas gelegt. Die ‘Helmholtz Nanoelectronic Facility’ (HNF) wird eine Reinraumfläche von rund 1000 Quadratmetern haben, die den Forschern die Entwicklung neuer Materialien, Prozesse und Strukturen im Nanometerbereich ermöglicht. Die Fertigstellung ist für das Jahr 2013 geplant.

Jülicher Forscher wollen mit der HNF die Siliziumtechnologie bis an die Grenze des physikalisch Machbaren weiterentwickeln. Darüber hinaus sollen auch neuartige, zukunftsweisende Schaltungen getestet werden, die auf anderen Materialien und Prinzipien aufbauen – auf neu entdeckten Oxiden etwa, dem Elektronenspin oder Schnittstellen zu lebenden Zellen. Diese könnten neue Anwendungen ermöglichen, etwa effiziente Chips für den Null-Watt-PC, nicht-flüchtige Computerspeicher oder innovative Lösungen aus der Verknüpfung von Biologie und Elektronik.

In den Reinräumen werden Geräte zur Belichtung, Reinigung und Kontrolle von Wafern installiert. Die Ausstattung umfasst außerdem ein Epitaxie– und Nanofabrikationscluster. Das mache das Labor europaweit einzigartig, hieß es vom Forschungszentrum Jülich. Das Cluster wird demnach als zusammenhängende Einrichtung auf einer Fläche von sechs mal fünfzehn Metern angelegt, auf der zunächst künstliche Kristallstrukturen erzeugt und anschließend Schaltkreise im Nanometermaßstab erstellt werden können.

Im HNF soll die Partnerschaft zur RWTH Aachen im Rahmen der ‘Jülich Aachen Research Alliance’ (JARA) eine besondere Rolle spielen. Die Kompetenzen der Partner in Lehre und Forschung sollen hier gebündelt werden. Die HNF wird zu 90 Prozent durch das BMBF und zu 10 Prozent durch das MIWF mit rund 25 Millionen Euro aus Mitteln der Helmholtz-Gemeinschaft finanziert. 11,65 Millionen Euro fließen in das Gebäude, weitere 13,8 Millionen Euro in wissenschaftliche Anlagen und Betriebstechnik.

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